更新日期: 2025-07-03

一種基于MEMS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

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一種基于MEMS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.4

給出了一種基于MEMS工藝的二維熱風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)、制造以及測試結(jié)果.該傳感器采用恒功率工作方式,利用熱溫差的方法測量風(fēng)速和風(fēng)向.本傳感器采用MEMS剝離工藝在玻璃襯底上同時(shí)加工出加熱電阻和測溫電阻,利用簡單可靠的加工工藝實(shí)現(xiàn)了熱隔離和高靈敏度.經(jīng)過風(fēng)洞風(fēng)速風(fēng)向測試,得知傳感器的風(fēng)速量程超過10m/s,360°范圍內(nèi)風(fēng)向測量誤差不超過8°.傳感器的響應(yīng)時(shí)間不超過1s,功耗為10mW.

一種基于CMOS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)和測試 一種基于CMOS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)和測試 一種基于CMOS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)和測試

一種基于CMOS工藝的二維風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)和測試

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給出了一種完全基于cmos工藝的、能同時(shí)測量風(fēng)速和風(fēng)向的二維測風(fēng)傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理及其測試結(jié)果。該傳感器采用恒溫差工作模式,熱堆輸出電壓平均值反映芯片溫度和環(huán)境溫度的差,省去了測溫二極管。風(fēng)速測量采用熱損失型原理,因此不存在速度量程問題;同時(shí)通過四周對稱分布熱堆的相對差分輸出得到風(fēng)向,風(fēng)向的測試和風(fēng)速無關(guān)。測試電路是由普通運(yùn)放電路組成的控制和測試系統(tǒng)。經(jīng)過風(fēng)洞測試,風(fēng)速的測量可以達(dá)到23m/s,風(fēng)速分辨率達(dá)到0.5m/s,風(fēng)速的最大誤差為0.5m/s。傳感器的反應(yīng)時(shí)間為3~5秒,整個(gè)功率損耗約為500mw。

風(fēng)速傳感器

風(fēng)速傳感器

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風(fēng)速傳感器 目錄[隱藏] 應(yīng)用領(lǐng)域 工作原理 基本功能與特點(diǎn) 研制風(fēng)速傳感器必須具備的設(shè)備 [編輯本段]應(yīng)用領(lǐng)域 風(fēng)速傳感器立足于煤礦用戶,主要適用于煤礦井下具有瓦斯爆炸危險(xiǎn)的各礦井通風(fēng)總回 風(fēng)巷、風(fēng)口、井下主要測風(fēng)站、扇風(fēng)機(jī)井口、掘進(jìn)工作面、采煤工作面等處,以及相應(yīng)的 礦產(chǎn)企業(yè)。 可連續(xù)監(jiān)測上述地點(diǎn)的風(fēng)速、風(fēng)量(風(fēng)量=風(fēng)速x橫截面積)大小,能夠?qū)λ幭锏赖?風(fēng)速風(fēng)量進(jìn)行實(shí)時(shí)顯示,是礦井通風(fēng)安全參數(shù)測量的重要儀表。 [編輯本段]工作原理 1、超聲波渦接測量原理; 2、通過壓差變化原理; 3、熱量轉(zhuǎn)移原理; 超聲波渦接測量原理: 根據(jù)卡曼渦街理論(見圖一),在無限界流場中垂直插入一根無限長的非線性阻力體(即 旋渦發(fā)生體c,風(fēng)速傳感器的探頭橫桿),當(dāng)風(fēng)流流經(jīng)旋渦發(fā)生體c時(shí),在漩渦發(fā)生體邊緣 下游側(cè)會產(chǎn)生兩排交替的、內(nèi)旋的旋渦列(即氣流旋渦),而旋渦的產(chǎn)生

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風(fēng)速傳感器講解

風(fēng)速傳感器講解

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風(fēng)速傳感器講解 4.5

礦用風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 1 摘要 礦用傳感器是煤礦監(jiān)控系統(tǒng)的“耳目”,它用于監(jiān)測煤礦環(huán)境參數(shù)與生產(chǎn)過 程參數(shù),將各種物理量轉(zhuǎn)換為電信號。 環(huán)境安全監(jiān)控系統(tǒng)主要用來監(jiān)測甲烷濃度、一氧化碳濃度、二氧化碳濃度、 氧氣濃度、硫化氫濃度、風(fēng)速、負(fù)壓、濕度、溫度、風(fēng)門狀態(tài)、風(fēng)窗狀態(tài)、風(fēng)筒 狀態(tài)、局部通風(fēng)機(jī)開停、主通風(fēng)機(jī)開停、工作電壓、工作電流等,并實(shí)現(xiàn)甲烷超 限聲光報(bào)警、斷電和甲烷風(fēng)電閉鎖控制等。 環(huán)境參數(shù)傳感器包括甲烷、一氧化碳、二氧化碳、溫度、濕度、風(fēng)速、絕對 壓力、相對壓力(負(fù)壓)、粉塵、煙霧等傳感器。生產(chǎn)參數(shù)傳感器包括機(jī)電設(shè)備開 /停、料位、皮帶秤重、機(jī)組位置、皮帶打滑、電壓、電流、功率等傳感器。 礦用風(fēng)速傳感器在煤礦開采業(yè)中的作用,不可小覷。在煤礦開采時(shí)風(fēng)速的大 小直接影響礦工的生命安全,風(fēng)速太小,有害氣體得不到及時(shí)的稀釋,可能導(dǎo)致 爆炸;如瓦斯爆炸。當(dāng)風(fēng)速太大時(shí),可能導(dǎo)致粉塵爆炸

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一種AIN基熱隔離MEMS陣列風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 一種AIN基熱隔離MEMS陣列風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 一種AIN基熱隔離MEMS陣列風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)

一種AIN基熱隔離MEMS陣列風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)

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一種AIN基熱隔離MEMS陣列風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 4.4

采用微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro—mechanicalsystem,mems)技術(shù)設(shè)計(jì)和制作了一種基于氮化鋁(aluminumnitride,ain)基熱隔離四陣列熱流量風(fēng)速風(fēng)向傳感器,并同時(shí)集成了一個(gè)環(huán)境溫度傳感器。在厚度為0.2mm的a1n基片上通過光刻剝離工藝和激光微加工工藝實(shí)現(xiàn)2d微結(jié)構(gòu)風(fēng)速風(fēng)向傳感器制備。傳感器由中間加熱器、4個(gè)溫度探測器和1個(gè)溫度傳感器組成,4個(gè)溫度探測器之間通過激光微加工刻蝕8個(gè)熱隔離通孔以減少熱傳導(dǎo)損失,提高有效熱流量交換。通過對傳感器的ansys仿真及性能測試,驗(yàn)證了設(shè)計(jì)的合理性及工藝的可行性。分析得出采用熱隔離通孔可有效提高4個(gè)探測器的靈敏度,降低了加熱電極的熱傳導(dǎo)損失,減小了傳感器設(shè)計(jì)尺寸,提高了設(shè)計(jì)的集成度。傳感器測試結(jié)果表明:最大角度差為5°,速度誤差小于0.5m/s。加熱功耗為120mw,響應(yīng)時(shí)間僅3s。

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風(fēng)速傳感器

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風(fēng)速傳感器 4.4

風(fēng)速傳感器

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礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

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礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.7

礦井風(fēng)速的監(jiān)測是保證礦井安全生產(chǎn)的重要因素,礦井的工作條件特殊,工作環(huán)境復(fù)雜,風(fēng)速測量在礦井安全中是一項(xiàng)重要內(nèi)容,介紹了采用負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻器為檢測元件的風(fēng)速傳感器的測量原理,得出了風(fēng)速與熱敏電阻變化的關(guān)系,闡述了風(fēng)速測量原理。

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礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)研究 礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)研究 礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)研究

礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)研究

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礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)研究 4.5

由于礦井工作本身具有一定的復(fù)雜性和危險(xiǎn)性,所以為了保證礦井在生產(chǎn)和作業(yè)過程中的安全性,需要提前對礦井的風(fēng)速進(jìn)行監(jiān)測。風(fēng)速測量是保證礦井安全生產(chǎn)和作業(yè)的基本條件,同時(shí)也是其中非常重要的內(nèi)容。因此,本文通過對井巷中風(fēng)速相關(guān)內(nèi)容的間接、負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻的伏安特性以及熱敏電阻測量風(fēng)速時(shí)的基本原理這幾個(gè)方面入手,對風(fēng)速與熱敏電阻相互之間的變化關(guān)系進(jìn)行分析,保證礦井風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)效果。

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煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì) 煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì) 煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì)

煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì)

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煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì) 4.7

通過對煤礦風(fēng)速傳感器的工作原理和參數(shù)論述,介紹了煤礦風(fēng)速傳感器地面調(diào)校裝置的設(shè)計(jì)要求和方案。

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風(fēng)向風(fēng)速傳感器的原理

風(fēng)向風(fēng)速傳感器的原理

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風(fēng)向風(fēng)速傳感器的原理 4.8

風(fēng)向風(fēng)速傳感器的原理 ?1概述 ? ? ?在航空氣象服務(wù)中,風(fēng)向、風(fēng)速是飛機(jī)起降過程中不可缺少的一個(gè)重要?dú)?象要素,數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確與否,直接影響飛行安全。昆明機(jī)場使用awos2000自 動(dòng)氣象觀測系統(tǒng)對包含風(fēng)向、風(fēng)速在內(nèi)的12個(gè)氣象要素進(jìn)行自動(dòng)觀測,為飛 行和空管保障提供了常規(guī)和光學(xué)類的本場氣象數(shù)據(jù)。本系統(tǒng)中,在跑道南北 各有一套風(fēng)向、風(fēng)速傳感器對兩端的風(fēng)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集,保障風(fēng)傳感器的 正常有效運(yùn)行,是自動(dòng)氣象觀測系統(tǒng)維護(hù)工作的重要內(nèi)容之一。 ? ? ?2風(fēng)傳感器的原理和結(jié)構(gòu) ? ? ?風(fēng)向、風(fēng)速傳感器為機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)式傳感器,感應(yīng)距地面11m處的空氣流動(dòng), 對空氣流動(dòng)速度及方向進(jìn)行檢測及光電轉(zhuǎn)換,并進(jìn)行數(shù)字量化、時(shí)間平均、 存儲等處理,再通過系統(tǒng)的通信設(shè)備及路由傳輸至室內(nèi)氣象觀測工作站。室 內(nèi)數(shù)據(jù)處理工作站(dpu)計(jì)算并作出一個(gè)2分鐘平均風(fēng)速風(fēng)向報(bào)告,依據(jù) 傳感器5秒

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基于MEMS工藝二維風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)精華文檔

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基于ZigBee的煤礦風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.7

將嵌入式技術(shù)與zigbee無線通信技術(shù)相結(jié)合,設(shè)計(jì)出功耗低、成本低、體積小、網(wǎng)絡(luò)容量大的風(fēng)速傳感器,著重介紹了傳感器的工作原理和軟硬件設(shè)計(jì).

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基于鉑電阻的風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 基于鉑電阻的風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 基于鉑電阻的風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

基于鉑電阻的風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

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基于鉑電阻的風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.7

文中介紹了一種用于風(fēng)速測量的鉑電阻傳感器及測量電路,它具有成本低、使用方便、測量精度較高等特點(diǎn),并且能夠與單片機(jī)等其他集成芯片配合,可廣泛應(yīng)用。

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RHD-24風(fēng)速傳感器

RHD-24風(fēng)速傳感器

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RHD-24風(fēng)速傳感器 4.3

誠信服務(wù),品質(zhì)保證 rhd rhd-24風(fēng)速傳感器 名稱風(fēng)速傳感器 型號rhd-24(邯鄲瑞華電子) 簡介: 風(fēng)速傳感器可以準(zhǔn)確測量空氣流動(dòng)的速度。 技術(shù)參數(shù): ?精度:±1m/s ?啟動(dòng)風(fēng)力:0.2m/s ?電壓輸出型 量程:0~60m/s 供電電壓:7v~24vdc 輸出信號:0.4~2v ?電流輸出型 量程:0~60m/s 供電電壓:12v~24vdc 輸出信號:4~20ma 負(fù)載能力:≤500ω ?脈沖輸出型 誠信服務(wù),品質(zhì)保證 rhd 量程:0~60m/s 輸出信號:脈沖(每個(gè)脈沖對應(yīng)0.88m/s) 供電電壓:5v~24vdc 功能及特點(diǎn): ?體積小巧,攜帶方便,安裝簡捷; ?測量精度高,量程寬,穩(wěn)定性好; ?結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理,外觀質(zhì)量佳; ?數(shù)據(jù)信息線性度好,信號傳輸距離長,抗外界干擾能力強(qiáng)。 適用范圍: ?采用先進(jìn)的電路模

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風(fēng)速傳感器原理

風(fēng)速傳感器原理

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風(fēng)速傳感器原理 4.8

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風(fēng)速傳感器說明書

風(fēng)速傳感器說明書

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風(fēng)速傳感器說明書 4.5

1 目錄 產(chǎn)品概述.....................................................................................................1 應(yīng)用范圍.....................................................................................................1 技術(shù)參數(shù).....................................................................................................2 功能特點(diǎn)..............................................................

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常見風(fēng)速傳感器的原理及應(yīng)用領(lǐng)域

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常見風(fēng)速傳感器的原理及應(yīng)用領(lǐng)域 4.6

常見風(fēng)速傳感器的原理及應(yīng)用領(lǐng)域 ?風(fēng)速傳感器在我們的日常生活中的應(yīng)用是非常廣泛的,根據(jù)不同的應(yīng)用環(huán) 境,這個(gè)風(fēng)速傳感器也是有很多種類的,在不同的環(huán)境中需要使用風(fēng)速傳感 器的的話一定要選用合適的才行,只有合適的才能夠測量出想要的結(jié)果。 ? ? ?首先ofweekmall風(fēng)向傳感器是以風(fēng)向箭頭的轉(zhuǎn)動(dòng)探測、感受外界的風(fēng)向 信息,并將其傳遞給同軸碼盤,同時(shí)輸出對應(yīng)風(fēng)向相關(guān)數(shù)值的一種物理裝 置。 ? ?通常風(fēng)向傳感器主體都采用風(fēng)向標(biāo)的機(jī)械結(jié)構(gòu),當(dāng)風(fēng)吹向風(fēng)向標(biāo)的尾部的 尾翼的時(shí)候,風(fēng)向標(biāo)的箭頭就會指風(fēng)吹過來的方向。為了保持對于方向的敏 感性,同時(shí)還采用不同的內(nèi)部機(jī)構(gòu)來給風(fēng)向傳感器辨別方向。通常有以下三 類: ? ? ?一、電磁式風(fēng)向傳感器:利用電磁原理設(shè)計(jì),由于原理種類較多,所以結(jié) 構(gòu)與有所不同,目前部分此類傳感器已經(jīng)開始利用陀螺儀芯片或者電子羅盤 作為基本元件,其測量精度得到了進(jìn)一步的

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第3.5-6節(jié)濕度、風(fēng)速傳感器

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第3.5-6節(jié)濕度、風(fēng)速傳感器 4.5

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VF系列低閾值風(fēng)速傳感器 4.7

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基于三杯式風(fēng)速傳感器的風(fēng)速監(jiān)測站設(shè)計(jì) 基于三杯式風(fēng)速傳感器的風(fēng)速監(jiān)測站設(shè)計(jì) 基于三杯式風(fēng)速傳感器的風(fēng)速監(jiān)測站設(shè)計(jì)

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基于三杯式風(fēng)速傳感器的風(fēng)速監(jiān)測站設(shè)計(jì) 4.3

鑒于目前可作為計(jì)算機(jī)監(jiān)控網(wǎng)絡(luò)的風(fēng)速監(jiān)測儀是非常少見的,論文設(shè)計(jì)了一種可方便接入分布式監(jiān)控系統(tǒng)的風(fēng)速監(jiān)測站。監(jiān)測站采用三杯式風(fēng)速傳感器作為風(fēng)速傳感設(shè)備,at89c2051作為mcu,rsm485cht作為通信接口,通過計(jì)數(shù)器測量周期得到風(fēng)速。設(shè)計(jì)中,給出了監(jiān)測站結(jié)構(gòu)及組成、風(fēng)速測量原理及風(fēng)速傳感器接口電路、風(fēng)速測量程序和數(shù)據(jù)通信程序。實(shí)踐表明該設(shè)計(jì)是切實(shí)可行的,具有很強(qiáng)的實(shí)用性。

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第35-6節(jié)濕度、風(fēng)速傳感器

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第35-6節(jié)濕度、風(fēng)速傳感器 4.6

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風(fēng)速傳感器原理精編版

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風(fēng)速傳感器原理精編版 4.4

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低功耗超聲波風(fēng)向風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 低功耗超聲波風(fēng)向風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 低功耗超聲波風(fēng)向風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)

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低功耗超聲波風(fēng)向風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 4.3

介紹了超聲波時(shí)差法風(fēng)速測量的基本原理,以及基于cpld+msp430低功耗測量風(fēng)向風(fēng)速傳感器的實(shí)現(xiàn)方法。設(shè)計(jì)了超聲波發(fā)射驅(qū)動(dòng)和部分接收電路,分析計(jì)算了二階有源巴特沃斯帶通濾波器。提出了采用峰值包絡(luò)檢波識別超聲波到達(dá)時(shí)刻,以及cpld高速計(jì)數(shù)的方法,實(shí)現(xiàn)高精度測量方法,并且詳細(xì)敘述了超聲波測風(fēng)的實(shí)現(xiàn)過程。實(shí)驗(yàn)結(jié)果驗(yàn)證系統(tǒng)具有精度高、功耗低等特點(diǎn)和推廣應(yīng)用價(jià)值。

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閉環(huán)恒溫式熱線風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 閉環(huán)恒溫式熱線風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 閉環(huán)恒溫式熱線風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

閉環(huán)恒溫式熱線風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

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閉環(huán)恒溫式熱線風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.5

基于熱工學(xué)推導(dǎo)了熱線風(fēng)速傳感器的數(shù)學(xué)模型,設(shè)計(jì)了恒溫反饋下的風(fēng)速測量電路,討論了非線性模型的分析方法,在此基礎(chǔ)上,分析了影響測量精度的一些因素,并給出改進(jìn)措施。

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熱敏電阻應(yīng)用于風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 熱敏電阻應(yīng)用于風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 熱敏電阻應(yīng)用于風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

熱敏電阻應(yīng)用于風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì)

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熱敏電阻應(yīng)用于風(fēng)速傳感器的設(shè)計(jì) 4.7

介紹了以負(fù)溫度系數(shù)熱敏電阻為檢測器件的風(fēng)速傳感器的測量原理,討論了風(fēng)速-電壓轉(zhuǎn)換的結(jié)構(gòu)機(jī)理與理論推導(dǎo),給出了精確的曲線以及實(shí)際線路分析,并對儀表引起的測量誤差及應(yīng)采取的措施進(jìn)行了討論。

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一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)

一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)

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一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì) 4.7

針對傳統(tǒng)風(fēng)速傳感器因井下特殊環(huán)境常造成超聲波探頭性能減弱,不能正確反映環(huán)境風(fēng)速值的問題,提出一種礦用皮托管式風(fēng)速傳感器設(shè)計(jì)方案,詳細(xì)介紹了其原理及軟硬件設(shè)計(jì)。該傳感器采用s型皮托管測量風(fēng)的壓力,利用差壓芯片計(jì)算差壓信號值,并根據(jù)電信號、差壓信號、風(fēng)速之間的對應(yīng)關(guān)系求取風(fēng)速信息。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在0.4~15m/s風(fēng)速范圍內(nèi),該傳感器測量誤差低于±0.2m/s,且具有較好的溫度穩(wěn)定特性、貯存特性和防潮防堵性能。

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劉鐵柱

職位:城鄉(xiāng)規(guī)劃項(xiàng)目經(jīng)理

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