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更新時(shí)間：2025.06.08
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基于虛擬切片三維數(shù)字化無(wú)損測(cè)量方法具有測(cè)量精度高、成本低、數(shù)據(jù)測(cè)量與處理快、可測(cè)量物體內(nèi)部輪廓等特點(diǎn),由于測(cè)量質(zhì)量精度高,其測(cè)量裝置中精密片層質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)精度是研究的關(guān)鍵技術(shù)之一,直接影響微小單元體質(zhì)量的計(jì)算精度,而重量載荷則是片層質(zhì)量檢測(cè)系統(tǒng)精度的主要影響因素。通過(guò)片層質(zhì)量計(jì)算推導(dǎo)過(guò)程與工程力學(xué)有限元分析,量化重量載荷變化對(duì)片層質(zhì)量誤差的影響,并研究可行有效的誤差補(bǔ)償方法,最后通過(guò)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)證明該誤差補(bǔ)償方法具有可靠性。
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應(yīng)用于玻璃基板生產(chǎn)的在線式稱重系統(tǒng)(以下簡(jiǎn)稱稱重系統(tǒng)),要求能夠快速、精確、非接觸式(不能接觸玻璃基板品質(zhì)保證區(qū))的稱量玻璃基板的重量。為解決原稱重系統(tǒng)的問(wèn)題,我們?cè)O(shè)計(jì)一種不需要取出裝置的稱重系統(tǒng),這樣既可解決取出、放回過(guò)程的時(shí)間占用,同時(shí)也能消除電氣連接對(duì)稱重精度的影響。經(jīng)過(guò)實(shí)際使用,發(fā)現(xiàn)該稱重系統(tǒng)仍存在一些影響精度的問(wèn)題。通過(guò)改造,系統(tǒng)精度完全滿足前一工序工藝控制的要求,能夠快速反饋精確的重量數(shù)據(jù)。
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