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更新時(shí)間:2025.06.07
基于通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的熱板參數(shù)分析

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光刻工藝中對(duì)熱板表面溫度場均勻性有極高要求,在熱板設(shè)計(jì)參數(shù)選擇問題上,通過使用通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設(shè)計(jì)參數(shù)情況下的熱板表面溫度場均勻性數(shù)據(jù)。對(duì)仿真結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行回歸建模,回歸模型計(jì)算結(jié)果與仿真結(jié)果有較高的一致性。結(jié)果表明,熱板設(shè)計(jì)參數(shù)可以根據(jù)該回歸模型來選擇。

高速公路路面組合設(shè)計(jì)

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石家莊鐵道大學(xué)四方學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì) 1 石家莊鐵道大學(xué)四方學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì) 2014屆 交通工程 系 專 業(yè) 交通工程 學(xué) 號(hào) 20105786 學(xué)生姓名 朱 嶺 指導(dǎo)教師 張 聚 昆 完成日期 2014年 5月 日 高速公路路面結(jié)構(gòu)組合設(shè)計(jì) Highway pavement structure combination design 石家莊鐵道大學(xué)四方學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì) 2 畢業(yè)設(shè)計(jì)成績單 學(xué)生姓名 張立偉 學(xué)號(hào) 20105781 班級(jí) 方 1004-3 專業(yè) 交通工程 畢業(yè)設(shè)計(jì)題目 高速公路路面結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與計(jì)算 指導(dǎo)教師姓名 張聚昆 指導(dǎo)教師職稱 工程師 評(píng) 定 成 績 指導(dǎo)教 師 得 分 評(píng)閱人 得 分 答辯小 組組長 得 分 成績: 系主任 簽字: 年 月 日 石家莊鐵道大學(xué)四方學(xué)院畢業(yè)設(shè)計(jì) 3 題 目 高速公路路面結(jié)構(gòu)組合設(shè)計(jì) 適用專業(yè) 交通工程 班 級(jí) 方 1004-3 學(xué)生姓名 朱

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