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對于潔凈室而言 ,恒定送風量 ,正壓控制 ,末端過濾器的選擇是達到室內潔凈度的關鍵。采用變頻風機送風是比較節(jié)能的送風方案 ;調節(jié)新、回風比能很好的控制正壓末端過濾器的選擇與所要達到的潔凈度相符
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第 7章 潔淨室之空調系統(tǒng)設計與能源消耗分析 7.1 前言 因為電子工業(yè)對於潔淨室的需求，再加上潔淨室機器所散發(fā)大量的熱量， 需要處理大量的外氣，且全年24小時都再運作的情形下，其所造成的耗能是相 當大的 在此我們就以幾種不同的空調箱及其不同的搭配種類來加以討論。 。 7.2 應用計算實例 某300mm DRAM 廠潔淨室實際設計參數(shù)作為案例分析如下 諸元 外氣條件 31℃ DB, RH= 80% 室內條件 23℃ DB, RH= 45% 潔淨室面積 11,182m2 潔淨室高度 3.5m 作業(yè)人數(shù) 500 循環(huán)量 6,543,000CMH 熱排氣 498,120CMH 酸排氣 30,540CMH 鹼排氣 33,5400CMH 有機氣體排氣 59,880CMH 製程設備負載 7,367KW 本廠使用的空調系統(tǒng)構型為抽風式外氣空調箱(MAU) 風機過濾器、 (FFU)以及
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