格式:pdf
大?。?span class="single-tag-height">738KB
頁數(shù): 3頁
SJ6000激光干涉儀產(chǎn)品采用美國進(jìn)口高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高 精度環(huán)境補償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計、 高精度激光干涉信號處理系統(tǒng)、 高性能計算機 控制系統(tǒng)技術(shù),實現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù),實現(xiàn)快速 (約 6 分 鐘)、高精度 (0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,采用不同的光學(xué)鏡 組可以測量出線性、角度、直線度、平面度和垂直度等幾何量,并且可以進(jìn)行動態(tài)分析。 SJ6000 激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范 圍大等優(yōu)點。通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合,可以實現(xiàn)對直線度、垂直度、角度、平面度、平 行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下,還可以對數(shù)控機床進(jìn)行動態(tài)性能檢測, 可以進(jìn)行機床振動測試與分析, 滾珠絲桿的動態(tài)特性分析, 驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析, 導(dǎo)軌 的動態(tài)特性分析等,具有極高的精度