格式：pdf
大?。?span class="single-tag-height">300KB
頁數(shù)： 3頁
TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的維 修及調整 TEGAL421 等離子刻蝕機射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵信號， Q1是震蕩管，Q4是推動管，Q3,Q2組成脈寬功率調節(jié)電路。 V1和 V2是兩個輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調整 射頻電源調整的步驟如下： 1. 關閉交流電源。 2. 移除射頻電源
格式：pdf
大小：1.1MB
頁數(shù)： 4頁
針對強流雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對其主電路設計思路進行了相關的分析。離子源等離子體放電實驗結果表明,該套等離子體電源系統(tǒng)達到了設計指標要求。
熱門知識
等離子射頻-
話題： 地產(chǎn)家居相平安
-
話題： 地產(chǎn)家居wvv
-
話題： 地產(chǎn)家居ulkwxf3180
精華知識
等離子射頻-
話題： 地產(chǎn)家居zhlove1215
-
話題： 地產(chǎn)家居abeadams
-
話題： 地產(chǎn)家居daduyu
-
話題： 地產(chǎn)家居enrenliu
-
最新知識
等離子射頻相關問答
等離子射頻-
話題： 地產(chǎn)家居筑助我
-
話題： 地產(chǎn)家居ducai1020
-
話題： 地產(chǎn)家居zlxzxp
等離子射頻相關專題
- 空壓機油水分離器如何使用
- 快速取水閥安裝離地面多高
- 離心泵吸水問題
- 離交廢水是什么
- 離心泵和污水泵的區(qū)別
- 離心水泵底閥水面怎樣安裝
- 離心水泵能當油泵使用
- 離心水泵是如何工作的
- 離心脫水機的工作原理
- 離心脫水機的設備優(yōu)勢
- 高度集成化導航接收機系統(tǒng)射頻電路的設計與實現(xiàn)
- 功率參數(shù)對超音速等離子制備高鋁銅合金涂層組織影響
- 機械球磨與放電等離子體燒結制備碳納米管/銅復合材料
- 基于Mifare1射頻卡非接觸式淋浴器硬件設計
- 基于射頻芯片ZigBee無線傳感器網(wǎng)絡節(jié)點設計
- 330MW熱電聯(lián)產(chǎn)機組汽包鍋爐等離子點火系統(tǒng)技術改造
- Ansoft HFSS在直角彎式射頻連接器設計中的應用
- LK-2型微機控制等離子噴焊設備的技術改造以及工藝改進
- SDY-50-52-3型聚乙烯螺旋絕緣皺紋銅管射頻電纜
- 保角變換在計算絕緣偏心對射頻同軸電纜電性能影響中的應用
- Si1000無線微控制器的無線射頻測溫系統(tǒng)的設計
- 無線射頻技術在混凝土預制構件企業(yè)生產(chǎn)管理中的應用研究
- 無線傳感網(wǎng)射頻芯片中4.8GHz低功耗壓控振蕩器設計
- 低溫冷等離子體對含水率楊木單板表面改性的初步研究
- 國產(chǎn)船用鋼板高功率激光焊等離子體行為及過程穩(wěn)定性分析
- 標簽生命周期的射頻識別系統(tǒng)安全和隱私風險
- 數(shù)控火焰等離子切割機專用說明書SF-2012AH