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等離子真空處理室是在高溫高腐蝕條件下工作,環(huán)境嚴峻。美國專利發(fā)明的US6521046介紹的一種Al-Cu-MgSi合金是可在很大程度上滿足這種要求的合金,它具有優(yōu)異的抗熱裂性能,又具有很強的抗腐蝕性能,在高溫腐蝕環(huán)境中不產(chǎn)生污染物,又有良好的可焊性,是制造等離子處理設備如生產(chǎn)半導體和液晶顯示屏真空室等的良好材料。該合
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